10月26日，2023年全国电子显微学学术年会在东莞市召开。国仪量子在会议期间发布了自主研制的聚焦离子束电子束双束显微镜DB500、超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。

　　聚焦离子束电子束双束显微镜DB500

　　DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，低电压高分辨率成像，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，拥有高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构，拥有24个扩展口，配置全面，自主可控，扩展性强。

　　离子镜筒"承影"

　　分辨率：3 nm@30 kV

　　探针电流：1 pA~50 nA

　　加速电压范围：500 V~30 kV

　　使用寿命：≥1000小时

　　长时间稳定性：72小时不间断工作

　　纳米机械手

　　仓内安装方式

　　三轴全压电驱动

　　步进精度≤10nm

　　最大移动速度2mm/s

　　集成式控制方式

　　离子束-电子束协同

　　气体注入器

　　单气体注入

　　多种气源可选

　　伸缩距离≥35 mm

　　重复定位精度≤10 um

　　加热温度控制精度≤0.1℃

　　加热温度范围：室温~90℃

　　集成式控制方式

　　超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X

　　SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。

　　产品优势

　　1.超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

　　2.样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景

　　3.高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响

　　4.最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求